Okinava Fan va Texnologiya Instituti (OIST) professori Tsumoru Shintake ASML skanerlariga qaraganda ancha arzon bo‘lgan sezilarli darajada soddalashtirilgan EUV-litografiya vositasini ishlab chiqdi.

U taklif qilgan litografik tizim oltita o‘rniga ikkita oynadan foydalanadi. Agar qurilma ommaviy ishlab chiqarishga kirsa, u butun yarimo‘tkazgich sanoati bo‘lmasa, chip ishlab chiqarish uskunalari sanoatini o‘zgartirishi mumkin.

Yangi tizim optik proyeksiyani sozlashda faqat ikkita oynadan foydalanadi, bu an’anaviy olti oynali konfiguratsiyadan sezilarli darajada farq qiladi. Yangi qisqaroq optik yo‘l boshlang‘ich EUV energiyasining 10 foizdan ortig‘ini plastinkaga yetib borishiga imkon beradi, hozirda foydalanilayotgan qurilmalarda bu ko‘rsatkich taxminan 1 foizga teng, bu katta yutuqdir.

Taklif etilayotgan yechimning asosiy afzalliklaridan biri bu ishonchlilikni oshirish va uskunaga texnik xizmat ko‘rsatish qulayligi. Ushbu dizaynning bir xil darajada muhim afzalligi energiya sarfini tubdan kamaytirish edi. Optimallashtirilgan optik yo‘l tufayli tizim atigi 20 Vt quvvatga ega EUV yorug‘lik manbasidan foydalanadi va umumiy quvvat iste’moli 100 kVt dan kam, bu an’anaviy EUV-litografiya tizimlarining talabidan pastroq bo‘lgan tartibdir. Energiya sarfini kamaytirish tufayli sovutish tizimi ham soddalashtirilgan va arzonroq.

Yangi tizimning ishlashi optik simulyasiya dasturlari yordamida keng qamrovli sinovdan o‘tkazildi, bu uning ilg‘or yarimo‘tkazgichlarni ishlab chiqarish qobiliyatini tasdiqladi. Olimlar patent olish uchun ariza berishdi, bu esa yangi texnologiyaning tijoriy tatbiq etishga tayyorligini ko‘rsatmoqda. Ishlab chiquvchilar yangi EUV-litografiya tizimini quvvat sarfini va chiplarni ishlab chiqarishning boshqa xarajatlarini kamaytirish yo‘lidagi muhim qadam sifatida ko‘rishmoqda, biroq yangi skanerning tijorat ekspluatatsiyasi boshlanishining aniq sanalari hali e’lon qilinmagan.

Global EUV-litografiya bozori 2024-yildagi 8,9 milliard dollardan 2030-yilga kelib 17,4 milliard dollargacha o‘sishi kutilmoqda.